超聲波清洗機(jī)的原理
[超聲波清洗機(jī)[第一次超聲波清洗]]

什么是超聲波清洗？

超聲波清洗可提高工業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量
超聲波清洗是一項(xiàng)利用超聲波振動(dòng)水和溶劑以清洗附著在要清洗的物體（工件）上的油，細(xì)小灰塵和污垢的技術(shù)。在家附近，有一臺(tái)可用于清洗眼鏡的超聲波清洗機(jī)，可以在眼鏡店買到。工業(yè)用途：去除機(jī)器零件的模具，工具的切削油，切削粉/切屑（桐子），拋光粉（拋光粉）和脫模劑，電鍍前的除油清潔，無(wú)鉛印刷它被廣泛用于各種應(yīng)用中，例如從基板上清除助焊劑和清潔半導(dǎo)體零件，并極大地提高了工業(yè)產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量。
另外，超聲波清潔器不僅用于“清潔"，還用于消泡/除氣，分散，攪拌和壓碎。

超聲波清洗原理

超聲波清洗通過(guò)結(jié)合超聲波的“物理作用"和清洗液的“化學(xué)作用"來(lái)獲得清洗效果。
●物理作用
空化，振動(dòng)加速，順流等。會(huì)剝落，分散和乳化污垢。
●化學(xué)作用
清洗液的化學(xué)作用和超聲波的化學(xué)反應(yīng)促進(jìn)作用會(huì)溶解并分解污垢。

超聲波清洗的機(jī)理

空化清潔

液體中有無(wú)數(shù)的氣體分子，當(dāng)將大約20kHz至100kHz的強(qiáng)超聲波施加到液體時(shí)，正負(fù)壓力會(huì)交替施加到氣體分子上。在下一瞬間，被正壓壓縮的氣體分子在負(fù)壓下急劇膨脹。由于這種重復(fù)，氣體分子在壓縮過(guò)程中具有非常高的壓力，在此極限下，它們破裂并消失。這種極大的沖擊壓力的產(chǎn)生被稱為“氣蝕現(xiàn)象"，并且當(dāng)氣泡破裂而作用于工件上以分離異物時(shí)沖擊波的作用被稱為“氣蝕效應(yīng)"。
它主要是中低頻的清潔動(dòng)作。
實(shí)際使用超聲波清潔器時(shí)，氣蝕發(fā)生的方式會(huì)根據(jù)液體深度和液體類型而變化。因此，這些控制對(duì)于良好的超聲波清潔是需要的。低頻清潔

通過(guò)粒子加速清潔

在通過(guò)超聲波進(jìn)行的超聲波清洗中，水分子被加速并撞擊工件，并且該沖擊導(dǎo)致顆粒從工件上分離。頻率越高，效果越好，并且對(duì)于剝離粘附力較弱的非常細(xì)的顆粒有效。加速度與頻率的平方成正比地增加，并且波長(zhǎng)也減小，這對(duì)于更細(xì)的顆粒有效。

它主要是中高頻的清潔動(dòng)作。

直流清潔
當(dāng)超聲能量為0.5W / cm 2以上時(shí)，從振動(dòng)表面朝著一定距離產(chǎn)生直流。相信這有助于灰塵的散布。
它主要是中高頻的清潔動(dòng)作。中高頻清潔動(dòng)作

低頻清潔

間歇式清洗機(jī)

金屬和樹脂零件的脫脂清潔，精密金屬零件的清潔
空化的沖擊壓力可有效清除頑固的污垢。去除機(jī)器零件的模具，工具的切削油，切削粉/切屑（桐子），拋光粉（拋光粉）和脫模劑，電鍍前的除油清潔，去除無(wú)鉛印刷板上的助焊劑適用于“一般清潔"等。
但是，氣蝕的發(fā)生方式會(huì)根據(jù)液體深度和液體類型而變化，因此，這些控制對(duì)于良好的超聲波清洗是需要的。管理不當(dāng)不僅會(huì)阻止超聲波有效地浸入液體中，還會(huì)損壞振動(dòng)表面（腐蝕）并加速振動(dòng)板的劣化。

*侵蝕：一種現(xiàn)象，其中諸如鋁之類的柔軟材料的表面被超聲波的空化現(xiàn)象所產(chǎn)生的物理力侵蝕。產(chǎn)生的腐蝕量與超聲波強(qiáng)度成正比，與頻率成反比。關(guān)于腐蝕◆關(guān)于駐波（清潔不均勻）當(dāng)施加超聲波時(shí)，根據(jù)頻率在液體中會(huì)產(chǎn)生“駐波"。λ/ 2的每個(gè)整數(shù)倍都會(huì)導(dǎo)致大量污垢脫落。（Λ是一個(gè)波長(zhǎng)）清除污垢可能會(huì)損壞工作。為了減少駐波的影響，還考慮了工作擺動(dòng)和多頻振蕩。必須以平衡的方式確定清除污垢的難易程度和對(duì)工件的損壞。

您可以從實(shí)驗(yàn)室/常規(guī)清潔中通過(guò)氣蝕看到小型超聲波清潔機(jī)的產(chǎn)品信息。
大型分離式超聲波清洗機(jī)的產(chǎn)品信息可用于工業(yè)用途。

中高頻清潔動(dòng)作

間歇式清洗機(jī)

半導(dǎo)體晶圓的批處理清洗

這是一種通過(guò)將多個(gè)半導(dǎo)體晶片放置在MHz頻段的超聲波清潔槽中同時(shí)清潔它們的方法。
（1）由于一次可清洗許多晶片，因此節(jié)省了時(shí)間
（2）與單晶片類型相比，清洗液的量相對(duì)較少
（3）這種方法易于使用，例如雙槽化學(xué)藥品。已成為主流。
通常，當(dāng)以批處理方式使用化學(xué)藥品時(shí)，通常使用浸入式清潔，其作為清潔槽和石英槽的雙重結(jié)構(gòu)而間接照射。另外，通過(guò)使用石英罐，可以獲得避免洗脫金屬離子和雜質(zhì)并保持清潔的效果。
然而，已經(jīng)出現(xiàn)間歇式清潔的問(wèn)題，例如由于基板尺寸的增加而導(dǎo)致設(shè)備尺寸的增加以及由于基板圖案的小型化而導(dǎo)致的顆粒的重新附著。

石英振動(dòng)式洗衣機(jī)

下一代清潔技術(shù)，損傷小，清潔度高

2006年，本多電子公司開(kāi)發(fā)了第一臺(tái)石英振動(dòng)超聲清洗裝置。在該方法中，通過(guò)在石英振動(dòng)體上疊加超聲波來(lái)清潔半導(dǎo)體晶片。與分批式和流水式相比，可以減少化學(xué)藥品的使用量，并且濕潤(rùn)的部分僅是石英玻璃和耐化學(xué)性樹脂，并且填料等橡膠材料不會(huì)與液體接觸，因此很干凈。 .. 另外，通過(guò)改變石英振動(dòng)體的形狀，可以根據(jù)需要進(jìn)行有效的清潔，例如低損傷清潔，大面積清潔以及難以去除的斜面（端面）和槽口（晶片端面上的槽口）的清潔。可能的。您可以從半導(dǎo)體行業(yè)中看到

石英振動(dòng)體式洗衣機(jī)的產(chǎn)品信息。

自來(lái)水式洗衣機(jī)

自來(lái)水型清洗

1986年由開(kāi)發(fā)。通過(guò)將MHz頻段的高頻超聲波疊加在從噴嘴輻射的自來(lái)水上，可以精確地清潔工件。輻射的自來(lái)水起著傳播介質(zhì)的作用，用于在超聲波傳播的同時(shí)通過(guò)超聲波的作用剝離的污物。您可以從半導(dǎo)體行業(yè)中看到